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RSP-8000型平板式PVD设备（含自动化）
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RSP-8000型平板式PVD设备（含自动化）

PVD又称物理气相沉积，用于高效异质结（HJT)太阳电池硅片的正反面溅镀 ITO透明电薄膜。业内最大跨度的量产型磁控溅射设备，可在一次工艺过程实现正反面的镀膜。自动上下料系统具备上料自动外观（破片、缺口、崩边）检测及下料PL检测功能，产能达，稳定性好。
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